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 > >  特點：

1、擁有現(xiàn)代的加工工藝，研制技術(shù)本身具有足夠的精度等保證其質(zhì)量
2、底層鍍有純鈦層，表面有120nm厚的Au膜，不僅可長期穩(wěn)定保存，而且具有良好的導(dǎo)電性

3、具有格柵狀雙向結(jié)構(gòu)，與早期使用的初級銅網(wǎng)結(jié)構(gòu)相似，是可以同時對任意兩個垂直方向上的掃描電鏡、電子探針的圖像的放大倍率進行檢查或校正的標(biāo)樣

4、有德國PTB國際計量型原子力顯微鏡的測量研究報告和研制者的研制報告正式發(fā)布(見“掃描電鏡測長問題的討論”一書)，即采用目前精度高、可溯源的檢測方法，有可靠的文獻依據(jù)
5、S1000曾經(jīng)過我國國家計量研究院的多次檢驗測試，并多次獲得合格證書；
6、S1000早在2005年通過全國微束標(biāo)委會的有關(guān)專家評審?fù)ㄟ^，具備報批國家標(biāo)準(zhǔn)樣品的資格，證明其質(zhì)量優(yōu)良
7、公開出版的“掃描電鏡測長問題的討論”專著實際上是一本S1000的綜合性的研制報告；；
8、價格低廉，易于保存、易于普及到每個掃描電鏡和電子探針實驗室
9、功能多，用途多
(1)可用于同時對任意兩個垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進行檢查或校正，是校準(zhǔn)從10× ~ 100，000×及以上范圍的圖像放大倍率的有效的圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品：是執(zhí)行GB/T27788 “微束分析一掃描電鏡一圖像放大倍率校準(zhǔn)導(dǎo)則”一個精準(zhǔn)的校準(zhǔn)標(biāo)樣
(2)可直接用于同一量級物體，毫米量級到納米量級長度的精確比對測量，是執(zhí)行GB/T 16594和GB/T 20307 微米和納米測量的一個不能缺少的精準(zhǔn)的度量工具
(3)可用于對圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進行校驗，是評價掃描電鏡圖像質(zhì)量的一個重要工具
(4)對樣品臺傾斜角和電子傾斜以及旋轉(zhuǎn)調(diào)整功能的檢驗也有較好的作用

(5)利用標(biāo)樣上的“點子”圖像，可對電子束作漂移檢驗和樣品臺復(fù)位檢驗

用途：
(1)可用于同時對任意兩個垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進行檢查或校正，是校準(zhǔn)從10×~100,000×范圍的圖像放大倍率的有效的圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品
(2)可用于對圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進行校驗，是評價掃描電鏡圖像質(zhì)量的個重要工具
(3)可直接用于同一量級物體長度的精確比對測量
(4)對樣品臺傾斜角和電子傾斜以及旋轉(zhuǎn)調(diào)整功能的檢驗也有較好的作用
(5)利用標(biāo)樣上的“點子”圖像，可對電子束作漂移檢驗和樣品臺復(fù)位檢驗

標(biāo)準(zhǔn)樣品的形狀、規(guī)格和包裝：
S1000微米-亞微米級系列標(biāo)樣，總體為5mm×5mm×0.5mm(長×寬×厚)大小的小方塊。主體圖形為一個“回”字形的方框，最外框邊長約為2mm,內(nèi)框的邊長約為1.2mm,內(nèi)框里面用X、Y軸分為4個象限，X、Y軸上制作有垂直坐標(biāo)軸方向的線距20μm的短平行線條，4個象限上分別是線距為40μm、20μm、10μm的方格網(wǎng)狀圖形和線距為5μm的X、Y雙向平行線條圖形，內(nèi)框的中部又是“回”字形的方框，大框的邊長約為160m,小框邊長約50μm，大框和小框之間在X方向和Y方向上都有線距為5μm的平行線條，小框里面是線距為1μm或0.5μm的X、Y雙向平行線條圖形(見圖1)，在5μm和1μm或0.5μm的線距結(jié)構(gòu)上還有一些十字形和圓點，可用于在較大放大倍率下圖像的聚集和像散調(diào)整，不同的線距大小可用于從10×~10000放大倍率范圍的校準(zhǔn)，而把40μm、20μm和10μm的線距結(jié)構(gòu)設(shè)計成方格形，是為了在對放大倍率進行準(zhǔn)確校準(zhǔn)的同時，可以對圖像的畸變、像散等進行校驗，5μm的線距結(jié)構(gòu)也同時具有X、Y兩個方向的平行線條，是為了方便同時對X、Y兩個方向進行放大倍的準(zhǔn)而不必機械旋轉(zhuǎn)標(biāo)準(zhǔn)器。
標(biāo)準(zhǔn)樣品的穩(wěn)定性：
標(biāo)準(zhǔn)樣品基質(zhì)材料為單晶硅或石英玻璃基片，材料性質(zhì)穩(wěn)定。在對標(biāo)準(zhǔn)樣品進行觀察時，可看到標(biāo)準(zhǔn)樣品具有良好的導(dǎo)電性，并且在掃描電鏡下所產(chǎn)生的圖形具有很好的對比度，在掃描電鏡下或光學(xué)顯微鏡下進行多次長時間的觀察后，未見標(biāo)準(zhǔn)樣品圖形或線距結(jié)構(gòu)發(fā)生變形或其他損壞，即標(biāo)準(zhǔn)樣品在電子束重復(fù)照射下是穩(wěn)定的。

標(biāo)準(zhǔn)樣品的均勻性：
本系列標(biāo)準(zhǔn)樣品的片內(nèi)線距均勻性由德國聯(lián)邦物理研究所(PTB)使用一臺大范圍計量型掃描力顯微鏡( M-LRSFM進行測量，40μm、20μm、10μm和5μm的線距結(jié)構(gòu)的相對標(biāo)準(zhǔn)偏差分別為<0.15%、<0.25%、<0.3%、<0.5%和<1%；片間線距的均勻性送國家有色金屬及電子材料分析測試中心掃描電鏡實驗室進行檢查，隨機取10個標(biāo)準(zhǔn)樣品，在相同掃描電鏡工作條件下獲取每個標(biāo)準(zhǔn)樣品上每種線距結(jié)構(gòu)的圖像，在每個圖像上的不同位置取若干個線距周期測量4個長度數(shù)據(jù)，其測量結(jié)果標(biāo)準(zhǔn)偏差分別為：<0.39%、<0.19%、<0.21%和<0.19%

標(biāo)準(zhǔn)值和置信限：

本系列標(biāo)準(zhǔn)樣品的線距值由德國聯(lián)邦物理研究所(PTB)使用一臺大范圍計量型掃描力顯微鏡(M- LRSFM)進行測量，測量結(jié)果可直接溯源至米定義計量基準(zhǔn)。各線距結(jié)構(gòu)的測量值分別為：40000.6±4.2nm(X方向)、40001.8±4.2nm(Y方向)、20000.4±1.8nm(X方向)、20000.0±1.8nm(Y方向)、10000.2±0.5mm(X方向)、10000.0±0.5mm(Y方向)、5000.0±0.6mm(X方向)、5000.3±0.6mm(Y方向)、1000.4±0.7nm(X方向)、1000.4±0.7mm(Y方向)，置信限為95%，k=2。

測試使用計量基準(zhǔn)裝置主要儀器：計量型掃描電子顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)裝置

測量范圍：線間隔結(jié)構(gòu)（0~50）μm

不確定度/準(zhǔn)確度等級：Ｕ=（1+2×10^-3*p）nm，k=2（Ｐ-nm）

測試結(jié)果：

1、樣板外觀：良好

2、測量范圍：對樣塊中指定量值的柵格間距區(qū)域，進行多次重復(fù)測量

3、樣塊刪格間距校準(zhǔn)結(jié)果及測量不確定度：

測量區(qū)域	A	B	C	D	E1	E2
標(biāo)稱值/μm	40	20	10	5	2	1
X方向校準(zhǔn)值/nm	39993	20052	10011	5033	1998	994
Y方向校準(zhǔn)值/nm	40074	20049	10000	5042	2003	1001
Ｕ95/nm	50	31	11	8	4	2